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等离子体产生途径

等离子体是1928年由朗格缪尔(Langmuir)命名的，最早还可以追溯到1879年英国的威廉·克鲁克斯(Willian Crooks)，他在做气体放电实验时，确认放电管中存在物质的第四态——“等离子态”。

等离子体是部分电离了的“气体”，它呈现出高度激发的不稳定态，其中包括离子(具有不同符号和电荷)、电子、自由基、激发态的分子和原子。

物质在等离子体状态下具有很高的能量，并且正、负离子数相等，从宏观上讲，其电荷为中性，即：n_e=n_i(n_e为电子密度；n_i为离子密度)，故得名等离子体。

产生等离子体方法主要有以下几种：

a. 气体放电法
在电场作用下获得加速动能的带电粒子与气体分子碰撞、加之阴极二次电子发射等机制的作用，导致气体击穿放电而形成等离子体。这是使用最普遍、最容易控制的方法。

b. 激光电离法和激光辐射电离
借入射光量子来使物质分子电离，只要光量子大于或等于该物质的第一电离能就可形成等离子体。激光辐射不仅有单光子，还有多光子和级联电离机制，它的另一特点是可获得高温高密度等离子。

c. 射线辐照法
用各种射线(包括α、β、γ和X射线)或粒子束(电子束、离子束等)对气体辐照也可产生等离子。

d. 燃烧法
借助热运动动能使气体中足够大的原子、分子相互碰撞引起电离。这种方法产生的等离子体称火焰等离子体。

e. 冲击波法
当冲击波在气体中通过时，气体受绝热压缩产生的高温来获得等离子体。这称为激波等离子体。

f. 微波诱导法
微波辐射可以加剧分子运动，提高分子平均能量，利用微波可以诱导产生等离子体。